Oil Free Air Compressor for Semiconductor Labs

Για να δημιουργήσετε αξιόπιστες γραμμές χρησιμότητας για ερευνητικές εγκαταστάσεις ακριβείας, προμηθευτείτε από προμηθευτές China Oil Free Air Compressor for Semiconductor Labs. Οι λύσεις αέρα υψηλής καθαρότητας της DECHUAN χρησιμοποιούν σφραγίδες απομόνωσης άνθρακα πολλαπλών στρωμάτων για την εξάλειψη των ιχνών υδρογονανθράκων, διασφαλίζοντας άριστη ποιότητα αερίου για κρίσιμη χάραξη πυριτίου.

Απαιτήσεις καθαρότητας κρίσιμου αερίου καθαριότητας

Στην κατασκευή ημιαγωγών και στη λιθογραφία λεπτής μεμβράνης, ακόμη και μια μικροσκοπική σταγόνα ατμού λαδιού που μεταφέρεται μέσω της γραμμής αέρα μπορεί να καταστρέψει μια ολόκληρη παρτίδα παραγωγής. Αυτό το εξειδικευμένο προϊόν έχει σχεδιαστεί για να πληροί τα απόλυτα υψηλότερα πρότυπα καθαρότητας:

• TÜV Certified Class 0 Air Delivery: Τα συστήματά μας υποβάλλονται σε αυστηρούς ελέγχους σε μεταβλητές θερμοκρασίες λειτουργίας. Ανεξάρτητη ανάλυση επιβεβαιώνει απολύτως μηδενικά ίχνη λαδιού στο ρεύμα αέρα εξόδου.

• Εσωτερικές διαδρομές αέρα χωρίς διάβρωση: Κάθε κομμάτι σωληνώσεων, δέσμη ψύξης και μήτρα διαχωρισμού κατάντη του θαλάμου συμπίεσης είναι κατασκευασμένο από ανοξείδωτο χάλυβα υψηλής ποιότητας για να αποτρέψει τις νιφάδες σκουριάς να μολύνουν τις γραμμές αέρα καθαρού δωματίου.

• Προηγμένη ενσωμάτωση Elektronikon®: Ο ενσωματωμένος ελεγκτής παρακολουθεί στενά τις λειτουργικές μετρήσεις και διαθέτει προληπτικούς τερματισμούς ασφαλείας για να διασφαλίσει ότι δεν εισέρχεται ποτέ ακάθαρτος αέρας στο πλέγμα του εργαστηρίου.

Το υψηλό κόστος της μικρο-μόλυνσης στα ηλεκτρονικά

Στην κατασκευή γκοφρετών ημιαγωγών, μια και μόνο σταγόνα αερολύματος λαδιού μπορεί να μολύνει ένα ολόκληρο περιβάλλον καθαρού δωματίου, καταστρέφοντας χιλιάδες γκοφρέτες πυριτίου και προκαλώντας απώλεια χρόνου παραγωγής εκατομμυρίων. Οι παραδοσιακοί αεροσυμπιεστές δεν μπορούν να εγγυηθούν την απόλυτη καθαρότητα μηδενικών υδρογονανθράκων που απαιτείται για αυτές τις διαδικασίες κλίμακας νανομέτρων.

Ο εξειδικευμένος αεροσυμπιεστής χωρίς λάδι για τα εργαστήρια ημιαγωγών εγγυάται την απόλυτη ασφάλεια της διαδικασίας:

• Πιστοποιημένη ροή αέρα CLASS 0: Δοκιμασμένο αυστηρά από την TÜV σε ακραία εύρη θερμικής και πίεσης για να διασφαλιστεί η απόλυτη μηδενική παρουσία λαδιού.

• Εσωτερικά χωρίς σωματίδια: Οι προψύκτες από ανοξείδωτο χάλυβα και οι εναλλάκτες θερμότητας με αστέρι-πτερύγια εξαλείφουν τις νιφάδες οξείδωσης ή την απόρριψη χημικών εντός της διαδρομής του αέρα.

• Ηλεκτρονική ασπίδα παρακολούθησης: Οι προληπτικοί συναγερμοί συντήρησης και οι αυτόματοι τερματισμοί σφαλμάτων αποτρέπουν τις αποκλίσεις του συστήματος πριν φτάσουν στα εργαλεία καθαρισμού σας.

Παράμετροι Τεχνικής Καθαρότητας

• Βαθμολογία ισχύος συστήματος: 55kw - 900kw διαμορφώσεις υψηλής πυκνότητας.

• Ογκομετρικός ρυθμός παράδοσης: 4,2 - 148,5 m³/min καθαρή έξοδος ροής.

• Ταξινόμηση περιεχομένου λαδιού: ISO 8573-1 Κλάση 0 επικύρωση εντελώς χωρίς λάδια.

• Διάταξη ψύξης: Ψύξη υγρού από ανοξείδωτο χάλυβα που αποτρέπει την εξάτμιση χημικών.

Οι συνθήκες αναφοράς απόδοσης για τη μονάδα μετρήθηκαν σύμφωνα με το Παράρτημα Γ, 4η έκδοση (2009) του ISO 1217:

· Σχετική υγρασία: 0%

· Απόλυτη πίεση εισόδου: 1 bar

· Θερμοκρασία εισόδου: 20°C Ο ρυθμός εκφόρτισης (FAD) μετρήθηκε στις ακόλουθες πιέσεις λειτουργίας:

Τύπος σταθερής ταχύτητας:

·  -7,5 bar type: 7 bar

· Τύπος -8,6 bar: 7 bar

· -10 bar type: 9 bar

Τύπος VSD:

· Τύπος -8,6 bar: 7 bar

· Τύπος -10,4 bar: 9 bar

· (2) Σταθμισμένη στάθμη ηχητικής πίεσης εκπομπής Κατηγορίας Α του σταθμού εργασίας (LpWSAd). Μετρήθηκε σύμφωνα με το ISO 2151:2004 (με χρήση μεθόδου σάρωσης έντασης ήχου 150 9614/2). Ο συντελεστής διόρθωσης που προστέθηκε πρόσφατα είναι μια εντελώς αβέβαιη τιμή (KpAd), που συμμορφώνεται με τον κωδικό δοκιμής.

· (3) Το βάρος είναι μόνο για αναφορά. υπερισχύει το πραγματικό παρεχόμενο βάρος.

ZR/ZT 110-160 (FF) STD

Σύμφωνα με το ISO 1217 Παράρτημα Γ, 4η Έκδοση (2009), οι συνθήκες αναφοράς απόδοσης μονάδας είναι οι εξής:

· Σχετική υγρασία: 0%

· Απόλυτη πίεση εισόδου: 1 bar

· Θερμοκρασία εισόδου: 20°C

Το FAD μετατόπισης μετράται στις ακόλουθες πιέσεις λειτουργίας:

Μοντέλα σταθερής ταχύτητας:

-Μοντέλα 7,5 bar: 7 bar

-Μοντέλα 8,6 bar: 7 bar

-Μοντέλα 10 bar: 9 bar

Μοντέλα VSD:

-Μοντέλα 8,6 bar: 7 bar

-Μοντέλα 10,4 bar: 9 bar

(2) Σταθμισμένη στάθμη ηχητικής πίεσης εκπομπής Κατηγορίας Α του σταθμού εργασίας (LpWSAd). Μετρήθηκε σύμφωνα με το ISO 2151:2004 (μέθοδος σάρωσης έντασης ήχου ISO 9614/2). Ο νέος συντελεστής διόρθωσης KpAd που προστέθηκε είναι αβέβαιος και συμμορφώνεται με τον κώδικα δοκιμής.

(3) V1=380V, V2=400V.

(4) Το βάρος είναι μόνο για αναφορά. υπερισχύει το πραγματικό βάρος.

ZR/ZT 200-275 (FF)

-Σχετική υγρασία:0%

-Απόλυτη πίεση εισόδου: 1bar

- Θερμοκρασία εισόδου: 20°℃

Ο ρυθμός εκφόρτισης (FAD) μετρήθηκε στις ακόλουθες πιέσεις λειτουργίας

Τύπος σταθερής ταχύτητας:

-7,5 bar type: 7 bar

-8,6 bar type: 7 bar

-Τύπος 10 bar: 9 bar

Τύπος VSD:

-8,6 bar type: 7 bar

-10,4 bar type: 9 bar

(2) Σταθμισμένη στάθμη ηχητικής πίεσης εκπομπής Κατηγορίας Α του σταθμού εργασίας (LpWSAd).

Μετρήθηκε σύμφωνα με το ISO 2151:2004 (με χρήση 150 9614/2 (μέθοδος σάρωσης έντασης ήχου).

Ο συντελεστής διόρθωσης που προστέθηκε πρόσφατα είναι μια εντελώς αβέβαιη τιμή (KpAd), που συμμορφώνεται με τον κωδικό δοκιμής.

(3) Το βάρος είναι μόνο για αναφορά. υπερισχύει το πραγματικό παρεχόμενο βάρος.

ZR 300-750

Οι συνθήκες αναφοράς απόδοσης για τη μονάδα μετρήθηκαν σύμφωνα με το Παράρτημα Γ, 4η έκδοση (2009) του ISO 1217:

· Σχετική υγρασία: 0%

· Απόλυτη πίεση εισόδου: 1 bar

· Θερμοκρασία εισόδου: 20°C Ο ρυθμός εκφόρτισης (FAD) μετρήθηκε στις ακόλουθες πιέσεις λειτουργίας:

Τύπος σταθερής ταχύτητας:

·  -7,5 bar type: 7 bar

· Τύπος -8,6 bar: 7 bar

· -10 bar type: 9 bar

Τύπος VSD:

· Τύπος -8,6 bar: 7 bar

· Τύπος -10,4 bar: 9 bar

· (2) Σταθμισμένη στάθμη ηχητικής πίεσης εκπομπής Κατηγορίας Α του σταθμού εργασίας (LpWSAd). Μετρήθηκε σύμφωνα με το ISO 2151:2004 (με χρήση μεθόδου σάρωσης έντασης ήχου 150 9614/2). Ο συντελεστής διόρθωσης που προστέθηκε πρόσφατα είναι μια εντελώς αβέβαιη τιμή (KpAd), που συμμορφώνεται με τον κωδικό δοκιμής.

· (3) Το βάρος είναι μόνο για αναφορά. υπερισχύει το πραγματικό παρεχόμενο βάρος.

ZR 200X-400X

Οι συνθήκες αναφοράς απόδοσης για τη μονάδα μετρήθηκαν σύμφωνα με το Παράρτημα Γ, 4η έκδοση (2009) του ISO 1217:

· Σχετική υγρασία: 0%

· Απόλυτη πίεση εισόδου: 1 bar

· Θερμοκρασία εισόδου: 20°C Ο ρυθμός εκφόρτισης (FAD) μετρήθηκε στις ακόλουθες πιέσεις λειτουργίας:

Τύπος σταθερής ταχύτητας:

·  -7,5 bar type: 7 bar

· Τύπος -8,6 bar: 7 bar

· -10 bar type: 9 bar

Τύπος VSD:

· Τύπος -8,6 bar: 7 bar

· Τύπος -10,4 bar: 9 bar

· (2) Σταθμισμένη στάθμη ηχητικής πίεσης εκπομπής Κατηγορίας Α του σταθμού εργασίας (LpWSAd). Μετρήθηκε σύμφωνα με το ISO 2151:2004 (με χρήση μεθόδου σάρωσης έντασης ήχου 150 9614/2). Ο συντελεστής διόρθωσης που προστέθηκε πρόσφατα είναι μια εντελώς αβέβαιη τιμή (KpAd), που συμμορφώνεται με τον κωδικό δοκιμής.

· (3) Το βάρος είναι μόνο για αναφορά. υπερισχύει το πραγματικό παρεχόμενο βάρος.

Μελέτη περίπτωσης χρήστη Cleanroom Laboratory

Ένας κατασκευαστής ηλεκτρονικών ειδών στην Ασία εγκατέστησε το εξειδικευμένο σύστημα αέρα της DECHUAN για να παρέχει βρόχους παραγωγής αζώτου υψηλής καθαρότητας και πνευματικούς βραχίονες δοκιμής. Προηγουμένως, οι τυπικοί συμπιεστές επέτρεπαν στους ατμούς του λαδιού να μεταναστεύσουν πέρα ​​από τα ενσωματωμένα φίλτρα, επικαλύπτοντας τους φακούς λιθογραφίας και προκαλώντας μικρο-θραύσματα στις επικαλύψεις πλακιδίων. Μετά την εγκατάσταση του Oil Free Air Compressor for Semiconductor Labs, το εργαστήριο ανέφερε μηδενικά περιστατικά μόλυνσης γραμμής που σχετίζονται με λάδι, εξοικονομώντας σημαντικό κόστος καθαρισμού και επαναβαθμονόμησης για δύο χρόνια συνεχούς λειτουργίας.

Προσαρμοσμένη προσαρμογή και έλεγχος εξαρτημάτων

• Αναβάθμιση υλικού από ανοξείδωτο χάλυβα: Αντικαθιστούμε όλα τα τυπικά εσωτερικά χυτά εξαρτήματα με υψηλής ποιότητας ανοξείδωτο χάλυβα για την τήρηση αυστηρών κατευθυντήριων γραμμών για τη μικρομόλυνση.

• Προηγμένα πρωτόκολλα επικοινωνίας: Η μονάδα είναι προφορτωμένη με εξειδικευμένα πρωτόκολλα επικοινωνίας, επιτρέποντας στα κέντρα ελέγχου του καθαρού δωματίου να παρακολουθούν τις μετρήσεις αέρα από απόσταση.

• Συμπαγές δομικό αποτύπωμα: Η εσωτερική διάταξη είναι βελτιστοποιημένη για να ελαχιστοποιεί το αποτύπωμα, καθιστώντας εύκολη την εγκατάσταση σε στενούς βοηθητικούς χώρους του υπογείου εργαστηρίου.

Συχνές ερωτήσεις βιομηχανικών αγοραστών

Ε: Μπορούμε να συνδέσουμε αυτόν τον συμπιεστή απευθείας σε βρόχους φιλτραρίσματος εξαιρετικά υψηλής καθαρότητας (UHP);

Α: Ναι, η έξοδος αέρα μας είναι πλήρως συμβατή με προηγμένα στεγνωτήρια καθαρισμού καθαρού χώρου και συστήματα φιλτραρίσματος σωματιδίων κάτω του μικρού. Επειδή ο ακατέργαστος αέρας περιέχει μηδενικούς ατμούς λαδιού, τα εξειδικευμένα φίλτρα του σημείου χρήσης σας δεν θα φράξουν με ομίχλη λαδιού, παρατείνοντας τη διάρκεια ζωής του φίλτρου.

Ε: Πώς οι τσιμούχες τύπου Z εξασφαλίζουν μηδενική μετακίνηση λαδιού από το συγκρότημα γραναζιών;

Α: Ο αεροσυμπιεστής αέρα χωρίς λάδι για τα εργαστήρια ημιαγωγών διαθέτει έναν φυσικό ατμοσφαιρικό χώρο εξαερισμού μεταξύ του περιβλήματος του γραναζιού που λιπαίνεται με λάδι και του θαλάμου ξηρής συμπίεσης. Τα εξειδικευμένα στεγανοποιητικά δακτυλίου από άνθρακα χωρίς επαφή συνδυάζονται με κανάλια αρνητικής πίεσης, διασφαλίζοντας ότι τυχόν νέφωση λαδιού κιβωτίου ταχυτήτων εμποδίζεται πλήρως να εισέλθει στο ρεύμα καθαρού αέρα.

Ε: Τι συμβαίνει εάν ένας εσωτερικός αισθητήρας θερμοκρασίας ανιχνεύσει μια μη φυσιολογική ένδειξη;

A: Ο ελεγκτής Elektronikon® λαμβάνει δείγματα ζωτικής σημασίας πολλές φορές ανά δευτερόλεπτο. Εάν ανιχνευτεί απότομη αύξηση της θερμοκρασίας σε οποιοδήποτε στάδιο, το σύστημα ενεργοποιεί αμέσως μια αυτοματοποιημένη απενεργοποίηση και κλείνει τις βαλβίδες απομόνωσης, διασφαλίζοντας ότι ο μη ψυχρός αέρας δεν ρέει ποτέ προς τα κάτω στον ευαίσθητο εξοπλισμό του εργαστηρίου σας.